目录
薄膜
小圆形平面靶倾斜磁控溅射镀膜均匀性研究付学成;徐锦滨;乌李瑛;黄胜利;王英;1-5
利用遗传算法定量分析Ni/Cr多层膜俄歇深度谱李静;谭张华;刘星星;陈颖琳;李豪文;杨浩;王昌林;王江涌;徐从康;6-11
稀土锆酸盐热障涂层的相稳定性和界面结合性能研究白明远;王鑫;甄真;牟仁德;何利民;许振华;12-20
射频磁控溅射对PET基材制备铝薄膜的性能影响张健;牛夏斌;李建浩;齐振华;21-24
《荧光检测分析用干涉滤光片》标准解析任少鹏;高鹏;王瑞生;金秀;王忠连;张轶;25-29
溶胶-凝胶法制备AZO薄膜的研究进展纪建超;颜悦;哈恩华;30-35
真空获得与设备
超高真空大抽速复合分子泵的设计郁晋军;董欣;刘敏强;36-41
KM6容器粗抽过程的CFX模拟与分析常冬林;任晓宇;杜春林;杜鹏;武越;许忠旭;李培印;42-48
大型风洞用离心真空泵气动设计齐大伟;李伟华;李传旭;吴斌;陈德江;唐志共;49-53
230MeV超导回旋加速器束流测量装置的设计研究郑侠;管锋平;温立鹏;冀鲁豫;邢建升;解怀东;54-57
真空冶金与热工
基于半导体器件钎焊技术的温度场研究解永强;靳丽岩;杨晓东;王成君;夏丹;苏春;58-62
金属多孔材料真空烧结炉控制系统设计改造戴晨;南海娟;盛小洋;丛轮刚;李彩霞;63-66
测量与控制
螺旋波等离子体源中离子能量及其诊断姜开银;杨丽珍;刘忠伟;张海宝;陈强;67-76
模糊神经网络锅炉温度控制系统许丽;吴泽明;刘旭;李豪;77-80
真空应用
微米级裂纹对水冷无氧铜坩埚的影响杨光;刘欢;王丁丁;罗立平;吕绪明;祁阳;81-86
水蒸气等离子体发生器工作特性实验研究涂军;宋文杰;张斌;余德平;李裔红;87-92
CF4流量及射频功率等对反应离子刻蚀硅基材料的影响廖荣;崔继耀;董景尚;陈栋;何蔚筠;93-97
超高真空和高真空技术的应用马义刚;李智慧;98-102
真空技术应用系列讲座
第二十一讲 真空卷绕镀膜张以忱;103-104
信息
第十五届国际真空科学与工程应用学术会议（VSEA-15）会议通知105
东北大学第十七期《真空技术》论坛通知106-107
GB/T 3163《真空技术术语》修订暨ISO 3529标准转化工作组会议在浙江省杭州市召开108
2021年ISO/TC 112/WG2第二次工作组会议顺利召开109-110
中国真空学会2021年活动计划表111-112