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科普专栏
面向未来信息器件的原子制造技术 杨海涛;367-389
综述评述
超灵敏度检漏仪校准技术进展 王汐月;卢耀文;陈千睿;董云宁;魏萌萌;杨传森;闫睿;齐京;390-395
研究论文
面向水平GAA内侧墙模块的干法Si0.7Ge0.3选择性刻蚀研究 刘阳;李俊杰;吴次南;张青竹;王桂磊;周娜;高建峰;孔真真;韩江浩;罗彦娜;刘恩序;杨涛;李俊峰;殷华湘;罗军;王文武;396-402
水蒸气等离子体诱导凝结分子动力学研究 李森;徐瑶;张正宇;陶正德;马婷婷;何鑫;403-409
某大型真空容器结构稳定性分析与试验评价 何绍栋;王华新;刘宝瑞;李云恒;施建昆;钱都;杨健;410-417
电感耦合腔室中等离子体特性分析及线圈优化 张毅;吴永明;周铁;418-425
偏压对电弧离子沉积锆膜性能的影响 赵世柯;刘晋允;于文杰;426-431
利用发射光谱探究CO2对MPCVD法生长单晶金刚石质量的影响 伍正新;满卫东;贾元波;范冰庆;林志东;432-437
无电极洛伦兹力推力器的电路模型 石峰;史鑫;438-443
射频驱动频率对托卡马克装置辉光放电清洗特性的影响 黄向玫;曹诚志;胡毅;周军;高霄燕;崔成和;444-449
果蔬蒸汽烫漂与热风真空干燥设备的结构优化 王栋;聂皓;袁越锦;谢永康;赵哲;卢禹铭;450-459