目录
薄膜
高深宽比硅孔溅射铜种子层工艺的探索与研究 付学成;刘民;张笛;程秀兰;王英;1-5
基于系统回归模型的真空镀膜设备液冷加热盘设计方法研究 李翔;姜小蛟;战春鸣;刘昂;孙宁;李加平;6-11
超高陡度长波通拉曼滤光片的研制 白皓宇;姚春龙;董明;秦瑞;白永浩;王奕楠;12-16
不同试验条件对非晶硒薄膜中载流子迁移率的影响 李瑞东;金大利;张梅东;于立苹;王建伟;17-21
磁控溅射镀膜技术在（Cr,Ti,Al）N涂层上的应用 赵凡;项燕雄;邹长伟;于云江;梁枫;22-29
真空获得与设备
大型串联电子束熔炼炉抽真空系统设计研究 宋涛;张柏诚;王春雷;姜正鹤;30-34
脉管制冷机的研究进展及其仿真优化 姜远镇;邓家良;韩雨松;武义锋;35-41
大抽速、高容积KDCP-16低温泵研制 卢政阳;管承红;杨晨;陈杰;李艳峰;董文庆;42-46
活塞压缩机整机振动分析与试验研究 常学森;王一婷;赵月;葛盼;卢翰斌;翁晨昊;47-51
耦合器热窗的极限真空方案模拟分析 岳泰;何超峰;王希龙;孙兴中;云永琥;陈伟;杜文清;陈耀锋;52-57
测量与控制
分子泵体积流率检测标准方法的探讨 乔忠路;王玲玲;李智慧;刘诗梦;宋青竹;战春鸣;58-64
一种高精度外热流模拟控制系统设计与研究 王国防;刘家林;孙成恺;刘海静;张静;董德胜;65-70
浓度均匀性对吸枪积累法检测结果的影响研究 葛丽;高晨家;邱斌;申鹰翔;陈博;71-74
浮空器囊体热合区域透氦率性能研究 朱善璋;董莉;75-79
带有防咬死铜镀层的标准螺纹紧固件放气率测试 卯鑫;冯思庆;刘鹏;彭学兵;吴欢;80-84
真空应用
真空技术在先进陶瓷制备中的应用 刘诗梦;赵环宇;王杰;乔忠路;晋伟达;张仁柱;85-91
磨削加工在钛合金铸件后处理阶段的应用 张海超;刘俊杰;92-95
3D打印技术
激光熔化沉积表面缺陷电涡流检测仿真 陈骋;朱明亮;李明玥;何振丰;王志国;贺晨;96-101
真空技术及应用系列讲座
第二十二讲 化学气相沉积（CVD）技术 张以忱;102-104
信息
东北大学第二十期《真空技术》论坛通知 105-106
中国真空学会2024活动计划表 107-108